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    HHV Auto 500电子束蒸发镀膜仪

    时间:2016年04月07日    来源:    作者:    阅读:

    英国HHV公司的HHV Auto 500是一种多功能电子束蒸发镀膜设备, 配备真空系统、真空腔室和标准化工艺附件,提供一系列实验技术以满足现代化实验室科研工作者和电子显微学家的需求。

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    设备特点:触屏PLC自动控制真空系统,易于操作;精确监测膜厚

    多种可选薄膜沉积源;智能高真空阀门保护泵及样品;紧凑型设计,最小化空间占用;无需压缩空气;完整的安全使用互锁保护

    技术参数:

    极限真空:2×10-7 mbar

    本底真空:小于8×10-6 Torr

    现有金属材料:Ti,Au,Ge,Ni,Pd,Pt,Sn,Al

    校内收费标准:

    计价单位

    单价

    小时

    400元

    不足1h按1h计,贵金属材料费另计,Au:200元/100nm,Pt:300元/100nm

    备注:院内收费半价,校外单位收费加倍。

    联系方式:

    电话:0531-88363606

    E-mail:xuhuayong@sdu.edu.cn

    送样请下载填写“电子束蒸发送样登记表”,经负责人签字后方可进行。

    本收费标准自2015年3月1日起执行

    纳电子研究中心